Das belgische Halbleiterforschungszentrum imec hat am 18. März 2026 den ASML EXE:5200 in seinem Reinraum in Leuven installiert — die leistungsfähigste Lithografiemaschine der Welt. Weltweit existieren weniger als ein Dutzend dieser Systeme, jedes zum Preis von rund 400 Millionen Dollar. Die Ankunft markiert einen wichtigen Schritt für ASMLs ambitioniertestes Produktsegment.

Was die Maschine kann

High-NA EUV steht für eine größere numerische Apertur im Belichtungssystem — vergleichbar mit einem leistungsstärkeren Kameraobjektiv. Das Ergebnis: Chipstrukturen, die bis zu 66 Prozent kleiner sind als mit bisherigen Verfahren. Für KI-Prozessoren und Hochleistungsspeicher, die immer mehr Rechenleistung bei gleichem Energieverbrauch verlangen, ist das ein entscheidender Fortschritt.

Imec plant, das System bis Q4 2026 vollständig zu qualifizieren. Parallel bleibt das gemeinsame ASML-imec-Labor im niederländischen Veldhoven in Betrieb, um die Forschungsarbeiten ohne Unterbrechung fortzuführen.

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Großkunden stehen bereit

Intel, SK Hynix und Samsung haben ihre ersten High-NA-Systeme bereits 2025 erhalten und bereiten sich auf den Einsatz in der Massenproduktion vor. ASML-CEO Christophe Fouquet rechnet damit, dass die Hochvolumenfertigung mit High-NA-Maschinen 2027 und 2028 anlaufen wird.

Die Leuven-Installation ist dabei kein isoliertes Forschungsprojekt. Sie ist eingebettet in imecs 2,5 Milliarden Euro schwere NanoIC-Pilotlinie unter dem EU Chips Act — finanziert durch die EU, nationale Regierungen und Industriepartner einschließlich ASML selbst.

Kommerzieller Rückenwind

Das strategische Gewicht der imec-Installation trifft auf eine bereits starke Auftragslage. Im vierten Quartal 2025 sprangen ASMLs Neubestellungen auf einen Rekordwert von 13,2 Milliarden Euro — fast doppelt so viel wie im Vorjahreszeitraum. Für 2026 erwartet das Unternehmen einen Umsatz zwischen 34 und 39 Milliarden Euro.

High-NA-Systeme machen dabei noch einen kleinen Teil des Gesamtvolumens aus: Im jüngsten Quartal bestätigte ASML Erlöse aus lediglich zwei dieser Maschinen, gegenüber 94 verkauften Lithografiesystemen insgesamt. Mit wachsender Qualifizierungsbasis — imec in Leuven als zentralem Knotenpunkt — dürfte sich das in den kommenden Jahren verschieben. Die Aktie notiert aktuell rund zwölf Prozent unterhalb ihres Anfang 2026 markierten 52-Wochen-Hochs von 1.295 Euro.

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