ASML Aktie: High-NA auf dem Vormarsch

Weniger als ein Dutzend dieser Maschinen existieren weltweit. Eine davon steht jetzt in Leuven. Das belgische Chipforschungsinstitut imec hat den ASML EXE:5200 — das derzeit fortschrittlichste Lithografiesystem der Welt — in Betrieb genommen und damit einen zentralen Meilenstein auf dem Weg zur kommerziellen Nutzung der High-NA-EUV-Technologie gesetzt.

Was die Maschine leistet

Der EXE:5200 ist das Herzstück von imecs NanoIC-Pilotlinie, einem mit 2,5 Milliarden Euro geförderten Projekt unter dem EU Chips Act. Die Finanzierung teilen sich die EU mit 700 Millionen Euro, nationale und regionale Regierungen mit weiteren 700 Millionen Euro sowie die Industrie — darunter ASML selbst.

Was die Maschine technisch auszeichnet: Die größere numerische Apertur ermöglicht Chipstrukturen, die bis zu 66 Prozent kleiner sind als bei bisherigen EUV-Systemen. Das Ergebnis sind schnellere, energieeffizientere Chips — relevant vor allem für KI-Anwendungen und Hochleistungsrechner unterhalb der 2-Nanometer-Grenze.

Imec rechnet damit, den EXE:5200 bis zum vierten Quartal 2026 vollständig zu qualifizieren.

Kunden bereiten sich auf 2027 vor

Der Zeitplan für den kommerziellen Einsatz verdichtet sich. Intel hat Ende 2025 die Abnahmetests für das System abgeschlossen, SK Hynix installierte eine Einheit im September 2025 in seinem DRAM-Werk. Samsung erhielt seinen ersten High-NA-Scanner ebenfalls Ende 2025, eine zweite Einheit wird im ersten Halbjahr 2026 erwartet.

ASML-CEO Christophe Fouquet erwartet den Start der Hochvolumenfertigung für 2027 und 2028. Das Unternehmen arbeitet derzeit eng mit seinen Kunden zusammen, um die Betriebsstabilität der Maschinen sicherzustellen.

Starke Auftragslage im Rücken

Die Leuven-Installation trifft auf ein robustes Nachfrageumfeld. Im vierten Quartal 2025 erreichten die Nettobuchungen 13,2 Milliarden Euro — davon entfielen 7,4 Milliarden Euro allein auf EUV-Systeme. Für das Gesamtjahr 2026 erwartet ASML einen Umsatz zwischen 34 und 39 Milliarden Euro bei einer Bruttomarge von 51 bis 53 Prozent.

Parallel läuft das laufende Aktienrückkaufprogramm über bis zu 12 Milliarden Euro für den Zeitraum 2026 bis 2028. Allein in der Woche vom 9. bis 13. März 2026 erwarb ASML rund 107.000 eigene Aktien für insgesamt rund 125 Millionen Euro. Die Aktie notiert aktuell nahe ihrem 50-Tage-Durchschnitt und liegt seit Jahresbeginn rund 19 Prozent im Plus.

Mit der imec-Installation ist klar: Der globale Rollout der High-NA-EUV-Technologie läuft nach Plan — und ASML bleibt der einzige Anbieter, der diese Maschinen bauen kann.