ASML Aktie: Chinas EUV-Coup

ASML steht im Zentrum zweier gegensätzlicher Entwicklungen: Während China offenbar einen EUV-Prototypen entwickelt hat, unterstreicht Intel mit der Installation der ersten kommerziellen High-NA-EUV-Maschine die technologische Führungsrolle des niederländischen Konzerns. Doch was bedeuten diese Nachrichten für die Zukunft?

Chinas heimlicher Durchbruch

Wie Reuters berichtet, haben chinesische Wissenschaftler in Shenzhen einen Prototyp einer EUV-Lithografiemaschine gebaut. Das Gerät wurde Anfang 2025 fertiggestellt und befindet sich nun in der Testphase. Ehemalige ASML-Ingenieure sollen die Technologie durch Reverse Engineering nachgebaut haben.

Die wichtigsten Fakten:

• Der Prototyp füllt nahezu eine gesamte Fabrikhalle – deutlich größer als ASMLs kommerzielle Systeme
• China strebt funktionierende Chip-Prototypen bis 2028 an, realistischer erscheint 2030
• Die Maschine kann EUV-Licht erzeugen, hat aber noch keine funktionsfähigen Chips produziert
• Kritische optische Komponenten bleiben ein erhebliches Problem

ASML kommentierte zurückhaltend: "Es macht Sinn, dass Unternehmen unsere Technologie replizieren wollen, aber das ist keine Kleinigkeit."

Intel demonstriert High-NA-Erfolg

Nahezu zeitgleich installierte Intel Foundry ASMLs TWINSCAN EXE:5200B – das weltweit fortschrittlichste Lithografie-Werkzeug. Die Maschine markiert den ersten industriellen Übergang von Low-NA zu High-NA-EUV-Technologie.

Die Leistungsdaten sind beeindruckend: 175 Wafer pro Stunde bei einer Overlay-Präzision von 0,7 Nanometern. Intel konnte bestimmte Fertigungsschritte von 40 auf unter 10 reduzieren. In Testläufen verarbeitete das Unternehmen über 30.000 Wafer in einem einzigen Quartal. Die Volumenproduktion auf dem 14A-Knoten soll 2027 starten.

Exportkontrollen im Fokus

Parallel verschärft sich die politische Debatte. Der US-Kongress fordert ein umfassendes Verkaufsverbot für DUVi-Werkzeuge nach China. 2024 gingen 70 Prozent dieser Systeme an chinesische Abnehmer. Chinesische Chip-Hersteller nutzen ältere Deep-Ultraviolet-Immersion-Technologie mit Multipatterning-Verfahren, um Chips nahe dem aktuellen Stand der Technik zu produzieren.

Bewertung und Perspektive

Die ASML-Aktie legte seit Jahresbeginn rund 51 Prozent zu, in drei Jahren verdoppelte sich der Kurs nahezu. Analysten bleiben gespalten: Morningstar sieht einen fairen Wert bei 850 Euro, die Bank of America hob ihr Kursziel kürzlich auf 1.331 Dollar an.

Experten betonen jedoch, dass zwischen einem Labor-Prototyp und kommerzieller Produktion Welten liegen. Eine moderne Chipfabrik benötigt 10 bis 20 EUV-Maschinen mit 99 Prozent Verfügbarkeit – ein Ziel, das China noch Jahre entfernt ist. ASML schätzt, dass China bis 2030 etwa 20 Prozent des Systemumsatzes ausmachen wird, nach 30 bis 40 Prozent in den Jahren 2023 bis 2025.