SÜSS MicroTec SE: SÜSS MicroTec und micro resist technology GmbH kooperieren bei der Weiterentwicklung der Nanoimprint-Lithografie

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Unternehmensentscheidung
SÜSS MicroTec SE: SÜSS MicroTec und micro resist technology GmbH kooperieren
bei der Weiterentwicklung der Nanoimprint-Lithografie

09.06.2020 / 14:05
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Pressemitteilung:

SÜSS MicroTec und micro resist technology GmbH kooperieren bei der
Weiterentwicklung der Nanoimprint-Lithografie

SÜSS MicroTec und micro resist technology GmbH kündigen ein Joint Venture
an, um den Einsatz der Nanoimprint-Lithografie (NIL) bei der Herstellung
zukünftiger Anwendungen weiter voranzutreiben. Die Kooperation ist unter dem
Dach des SUSS Imprint Excellence Center angesiedelt.

Garching und Berlin, 9. Juni 2020 - SÜSS MicroTec, führender Anbieter von
Anlagen und Prozesslösungen für die Halbleiterindustrie und verwandte
Märkte, und micro resist technology GmbH, ein führendes Unternehmen für die
Entwicklung und Herstellung innovativer Fotoresiste und fortschrittlicher
Nanoimprint-Materialien, geben heute ihre Zusammenarbeit auf dem Gebiet der
Nanoimprint-Lithografie (NIL) bekannt. NIL ist ein Schlüsselfaktor für die
Revolution in der additiven Fertigung durch High-Fidelity-Musterübertragung.
Dieses UV-Härtungs-Prägeverfahren wird zunehmend eingesetzt bei der
Herstellung zukünftiger Anwendungen in der Photonik, wie z.B. diffraktive
optische Elemente in Augmented-Reality-Brillen oder für die
Gesichtserkennung sowie für den Transfer von Mikro- und Nano-Strukturen,
z.B. in optischen Sensoren, Laser-Nano-PSS (Patterned Sapphire Substrates)
oder für den Fälschungsschutz.

Die Anforderungen an die Nanoimprint-Lithografie und ihre Anwendungen ist in
stetigem Wandel. Das grundlegende Ziel der Zusammenarbeit besteht daher
darin, neu entstehende Anforderungen zu verstehen und hierfür Lösungen
sowohl auf Prozess- als auch auf Materialebene zu implementieren, um so den
hohen Herausforderungen der Industrie zu entsprechen.

Ein qualitativ hochwertiger Imprint basiert auf drei Säulen: Equipment,
Verfahren und Materialien. Die ersten beiden Säulen, Ausrüstung und
Erfahrung in der Großserienfertigung, werden über das SUSS Imprint
Excellence Center, einer gemeinsamen Unternehmung von SUSS MicroTec
Lithography GmbH und SÜSS MicroOptics SA, bereitgestellt. Durch die
Verbindung mit der dritten Säule, der chemischen Expertise des
Nanoimprint-Materialanbieters, micro resist technology GmbH, wird diese
Konstellation weiter ergänzt und gestärkt. Die Kombination dieser drei
Säulen ermöglicht es, den hohen Bedarf der Industrie mit seinen immer
anspruchsvolleren Anforderungen an die Replikation von Nanostrukturen besser
abzudecken.

"Das SUSS Imprint Excellence Center stützt sich auf jahrzehntelange
Erfahrung im Bereich Imprint-Equipment und industrieller Prozessentwicklung
für die Hochvolumenproduktion ", erklärt Franz Richter, CEO von SÜSS
MicroTec. "Eine weitere Stärkung dieses Clusters durch eine starke
Partnerschaft mit einem führenden Resist-Lieferanten und erfahrenen
Materialhersteller ist unabdingbar, um perfekte Imprint-Lösungen zu
ermöglichen".

Die beteiligten Unternehmen haben sich der intensiven Zusammenarbeit
verschrieben, mit dem gemeinsamen Ziel, die Entwicklung bestehender und
neuer Anwendungen sowohl in Richtung Hochleistungs- als auch
Großserienproduktion weiter voranzutreiben.

"Seit mehr als zwei Jahrzehnten liefert die micro resist technology (MRT)
maßgeschneiderte Resist-Rezepturen für NIL rund um den Globus", sagt Gabi
Grützner, CEO und Gründerin von MRT. "Durch unser profundes Know-how auf dem
Gebiet der Polymerchemie und der Replikationsverfahren ist es uns möglich,
hochmoderne Materiallösungen anzubieten. Diese decken eine steigende Anzahl
von industriellen Anwendungsbereichen ab, bei denen die
Replikationstechnologie für die Komponentenherstellung beispielsweise in der
Unterhaltungselektronik eingesetzt wird. Wir freuen uns sehr über die
Zusammenarbeit mit unserem Partner innerhalb der Allianz, da der Erfolg
unserer Kunden bei industriellen Prägeprozessen beschleunigt werden kann,
wenn Materialien und Ausrüstung aufeinander abgestimmt sind. In dem SUSS
Imprint Excellence Center sehen wir große Chancen, der Community das
passende Gesamtpaket zur Verfügung zu stellen, um NIL für noch mehr
industrielle Anwender verfügbar zu machen".

Über SÜSS MicroTec
SÜSS MicroTec ist einer der weltweit führenden Hersteller von Anlagen- und
Prozesslösungen für die Mikro-strukturierung in der Halbleiterindustrie und
verwandten Märkten. In enger Zusammenarbeit mit Forschungsinstituten und
Industriepartnern treibt SÜSS MicroTec die Entwicklung von neuen
Technologien wie 3D-Integration und Nanoimprint-Lithografie sowie
Schlüsselprozesse für die MEMS und LED Produktion voran. Weltweit sind mehr
als 8.000 installierte Systeme von SÜSS MicroTec im Einsatz, unterstützt von
einer globalen Infrastruktur für Applikationen und Service. Hauptsitz der
SÜSS Gruppe ist in Garching bei München. Für weitere Informationen besuchen
Sie www.suss.com.
Kontakt: Hosgör Sarioglu-Zoberbier, Director Corporate Marketing SÜSS
MicroTec SE, Tel: +49 89 32007 397,
E-Mail: hosgoer.sarioglu@suss.com

Über micro resist technology GmbH
Die micro resist technology GmbH ist ein führendes Unternehmen in der
Entwicklung und Produktion innovativer Photoresiste, Polymere und
Photopolymere sowie komplementärer Prozesschemikalien für lithografische
Herstellungsverfahren in der Mikro- und Nanostrukturierung. Die
Materiallösungen werden in Schlüsseltechnologien und Wachstumsmärkten wie
Mikrosystemtechnik, Mikroelektronik, Optoelektronik, Mikro- und
Nanophotonik, Mikro- und Nanotechnologie sowie den Biowissenschaften
eingesetzt. Das inhabergeführte Unternehmen besteht seit seiner Gründung
1993 am Standort Berlin (inkl. Entwicklungsabteilung, Fertigung und Logistik
sowie der Applikationsreinraum auf 300 m²), agiert mit seinen mehr als 50
Mitarbeiter weltweit und ist erfolgreich nach den Normen ISO 9001: 2015 und
ISO 14001: 2015 zertifiziert. Für weitere Informationen besuchen Sie
www.microresist.de
Kontakt:
Dr. Arne Schleunitz, Chief Technology Officer, Tel: +49 30 641 670 100,
E-Mail: a.schleunitz@microresist.de

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09.06.2020 Veröffentlichung einer Corporate News/Finanznachricht,
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   Unternehmen:    SÜSS MicroTec SE
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